本文摘要：苏州图森激光有限公司的玻璃激光钻孔设备使用高重频515nm纳秒光纤激光器，融合激光背向加工（即光束焦点由下平等主义移动）工艺，可以对各种有所不同材质的薄玻璃和管状玻璃展开多种类型的较慢精加工。例如，沿端面或侧壁纸带、异型尺寸玻璃片切割成、玻璃基底半透明导电膜除膜、玻璃表面局部毛化与划刻、在表面或内部打标等。根据有所不同的脉冲宽度和脉冲反复频率，激光器输入仅次于平均功率平均50W。

苏州图森激光有限公司的玻璃激光钻孔设备使用高重频515nm纳秒光纤激光器，融合激光背向加工（即光束焦点由下平等主义移动）工艺，可以对各种有所不同材质的薄玻璃和管状玻璃展开多种类型的较慢精加工。例如，沿端面或侧壁纸带、异型尺寸玻璃片切割成、玻璃基底半透明导电膜除膜、玻璃表面局部毛化与划刻、在表面或内部打标等。根据有所不同的脉冲宽度和脉冲反复频率，激光器输入仅次于平均功率平均50W。

就玻璃纸带而言，一般来说加工孔经可以小至0．15mm，大到50mm以上，可以产生相似零锥度的通孔、盲孔、斜孔、台阶孔、方孔或其它类似孔型。图森激光使用高重频纳秒绿光光纤激光器加工钠钙玻璃、硼硅玻璃、石英玻璃等，在玻璃深加工领域有数不少顺利案例，限于玻璃厚度范围一般来说在0．1mm－10mm之间。切换至0．5mm薄的钠钙玻璃，仅次于线切割速度需要超过22mm／s以上。

图1至图3分别得出一些代表性的玻璃加工结果图片。5．8mm厚钠钙玻璃有所不同厚度硼硅玻璃0．17mm厚钠钙玻璃图1．图森激光使用高重频纳秒绿光光纤激光器切割成出有的一些玻璃样品。

图2．图森激光使用高重频纳秒绿光光纤激光器在厚度为3mm的浮法玻璃板上小洞的直径1mm小孔。（打每个孔所用时间大于1秒，亡边大于130um）。

图3．图森激光使用高重频纳秒绿光光纤激光器在壁薄为1．0mm玻璃管侧壁上小洞的直径为2．0mm小孔。与CO2激光玻璃表面划线冷却裂片和非同脉冲激光玻璃内部成丝裂片有所不同，利用高重频纳秒绿光光纤激光器构建玻璃切割成主要是基于单个激光脉冲对工件的有理激光以及激光焦点按照预计设计路径在空间中的较慢扫瞄移动。

因此，它极具灵活性，需要对各种玻璃材料展开有理、逐线和逐级的高可控性材料祛除，从而可以视作为一种具备很高精准度的高效“数字化（digital）”的激光玻璃工件式加工技术。这一技术使得利用激光在各种玻璃材料上工件出有有所不同的立体形状或三维形貌沦为有可能。这种有理工件式的激光玻璃加工技术一般来说具有一定大小的切割成线宽以及切割成边缘处会不存在点状的崩边（chipping）现象。

各不相同玻璃厚度和明确加工尺寸以及对切割成速度的拒绝，实际应用于中切割成线宽一般来说在0．1mm－0．45mm之间，仅次于亡边往往可以掌控在100um－150um以内。类似情形下，如超薄型玻璃和比较较小的加工尺寸，仅次于亡边可以掌控在50um－80um之间。图4为用于高重频、纳秒光纤绿光激光器加工的锥形孔和台阶孔，图5为在钠钙玻璃表面上的划线和开槽。

划线宽度大约5um，划线速度3000mm／s；矩形槽的深度可以从几微米到上百微米，甚至毫米量级，深度掌控不仅准确而且非常简单便利。图4．图森激光使用高重频纳秒绿光光纤激光器加工的锥形孔和台阶孔。图5．图森激光使用高重频纳秒绿光光纤激光器在玻璃表面产生的划线（左图）（线宽大约5um，划线速度3000mm／s）；4．5mmX3mm矩形槽（右图），槽浅20um至200um。有一点认为的是，高重频、纳秒绿光激光脉冲对玻璃材料的激光机理并非常规的材料热熔融后被辅助气体排泄或气化，而是主要源自激光脉冲诱导的局部热应力梯度所造成的受限空间范围内的材料吞没。

根据估计，典型情况下，这样的加工中平均值而言一个激光脉冲祛除玻璃材料的量约只有几十纳克或更加小，其所对应玻璃颗粒的大下大约二、三十微米至几微米。这种独有的材料激光祛除方式具有显著低于适当于材料热熔和气化的切割成效率。以普通钠钙玻璃为事例，其单位光脉冲能量下的材料祛除可以超过150um3／uJ。

切割成壁的粗糙度一般来说在几微米量级。使用高重频纳秒绿光光纤激光激光加工玻璃时，除了必须将切割成中产生的粉尘及时排出到吸尘机内之外，一般不必须吹气或施加压力等其它辅助手段。苏州图森激光有限公司，先进设备激光加工设备制造商，脆性材料激光加工专家，使用国际领先技术的激光器，产品已顺利应用于光伏、半导体、表明、医疗、玻璃深加工等领域中玻璃材料精加工，一直致力于为客户获取自定义简化的激光加工解决方案。

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